Рентгеновский фотоэлектронный спектрометр позволяет проводить количественный элементный анализ образцов с определением химического и электронного состояния атомов с разрешением до 30 мкм. Функция сканирования позволяет измерять пространственное распределение состава на поверхности образца, а использование системы распылительного профилирования - исследовать изменение состава в глубине. Наличие источника низкоэнергетических электронов/ионов позволяет исследовать непроводящие образцы.
Основные параметры:
Излучение рентгеновское монохроматизированное сфокусированное - Al K-a
Размер пятна рентгеновского излучения 30-400 мкм
Диапазон измеряемых энергий фотоэлектронов 5-1500 эВ
Разрешение по энергии 3 мэВ
Источник ионов для очистки поверхности и построения профилей распределения по глубине
Максимальные размеры образца: 60х60х20 мм
23 December 2015