В составе Комплекса оборудования сканирующей зондовой микроскопии.
ИНТЕГРА Аура разработана для осуществления с помощью методов высокоточных АСМ, ЭСМ и МСМ измерений, а также измерений адгезионных сил в условиях контролируемой атмосферы или низкого вакуума. Вакуум, обеспечивающий десятикратное увеличение добротности колебаний кантилевера, достигается уже через 1 минуту после начала работы.
Производитель: NT-MDT, Россия
Год выпуска: 2007
Комната: 109
В вакууме повышается добротность колебаний кантилевера, а значит, увеличивается чувствительность, надежность и достоверность в измерениях слабых сил между зондом и образцом.
| Основные параметры: | |
| Размеры образцов | до 100х100х15 мм3 |
| ХY разрешение | до 0,1 нм |
| Z разрешение | до 0,04 нм |
| Измерения в газовых средах при контролируемом давлении | |
| Измерения в жидкости | |
| Нагрев образцов | до 300оС |
| Приложение к образцу напряжений | до 200 В |
Основные методики измерения
1. Контактная атомно-силовая микроскопия (c-AFM)
- топография (рельеф) поверхности
- пространственное распределение коэффициента трения
- пространственное распределение микротвердости
2. Полуконтактная атомно-силовая микроскопия (sc-AFM)
- топография (рельеф) поверхности
- пространственное распределение свойств материалов (фазовый контраст) в гетерофазных системах, биологических объектах, полимерах и др.
3. Сканирующая туннельная микроскопия (STM)
- топография (рельеф) поверхности проводящих образцов
- туннельная спектроскопия
4. Магнитная силовая микроскопия (MFM)
- пространственное распределение магнитных сил
- визуализация магнитных доменных структур
5. Электростатическая силовая микроскопия (EFM)
- пространственное распределение электрического поля и зарядов на поверхности
- визуализация доменной структуры сегнетоэлектриков
6. Метод зонда Кельвина (KPFM)
- пространственное распределение электростатического потенциала и зарядов на поверхности
- визуализация доменной структуры сегнетоэлектриков
7. Сканирующая емкостная микроскопия (SCM)
- пространственное распределение диэлектрических свойств поверхности
- определение концентрации и типа носителей заряда
8. Атомно-силовая акустическая микроскопия (AFAM)
- пространственное распределение упругих свойств материалов
9. Силовая микроскопия пьезоотклика (PFM)
- исследование кинетики локального переключения поляризации в сегнетоэлектриках
- визуализация доменной структуры сегнетоэлектриков
10. Нанолитография
- силовая литография в полимерных материалах
- токовая литография (анодное окисление, локальное переключение поляризации)
- векторный и растровый режимы