В составе Комплекса оборудования электронной микроскопии.
Сканирующий электронный микроскоп для широкого спектра исследований.
Производитель: Carl Zeiss NTS, Германия
Год выпуска: 2016
Комната: 126
| Основные параметры: | |
| - Наблюдение во вторичных электронах | |
| - Наблюдение в отраженных электронах с селекцией по энергии выхода и по углу выхода | |
| - Компенсатор заряда с возможностью in-situ очистки поверхности образца от загрязнений | |
| - 4 манипулятора для измерений проводимости образцов в камере микроскопа | |
| - EBIC детектор для исследования электрических свойств полупроводниковых материалов | |
| - Энергодисперсионный микроанализ | |
| Ток пучка | до 300 нА |
| Ускоряющее напряжение | от 20 до 30 кВ |
| Термостолик для исследования динамики фазовых превращений | от -180 до +400оС |