STE RTA-100

В составе Комплекса оборудования для термообработки материалов.

Проведение процессов быстрой температурной обработки пластин в инертной среде

 

Производитель: АО «НТО» (SemiTEq), Россия
Год выпуска:  2022
Комната: 229

 

Основные параметры:

 

Скорость откачки вакуумного насоса:

3,5 м3/час

Максимальный диаметр обрабатываемой пластины

100 мм

Максимальная скорость нагрева с графитовым столиком:

40 °С/с

Максимальная температура нагрева:

1000°С

Однородность нагрева для пластины диаметром 100 мм:

±2%

Диапазон длительности процесса отжига полупроводниковой пластины

1-600 с

 

 

Оптический пирометр

да