Система плазменной очистки и активации поверхности
Производитель: Diener electronic (Германия)
Год выпуска: 2022
Место размещения: 222
Применение: очистка, активация, травление (мелкосерийные процессы).
|
Основные параметры: |
|
|
Генератор плазмы: |
13.56 MГц, 300 Вт |
|
Производительность сухого вакуумного насоса: |
5,4 м3/ час |
|
Подвод газа: |
две газовых линий с игольчатым клапаном |
|
Рабочие газы: |
Кислород, аргон |
|
Вакуумная камера: |
цилиндрическая, около 10,5 литров: Ø 211 мм, глубина 300 мм |
|
Материал камеры: |
боросиликатное стекло |