Elix 10

Получение сверхчистой воды реагентного качества

 

В составе Комплекса оборудования для фотолитографии

Получение сверхчистой воды реагентного качества

Производитель: Millipore, Франция
Год выпуска: 2007
Комната: 213

 

Основные параметры:  
Удельное сопротивление при 25 ОС: не менее 18 МОм·см
Содержание общего органического углерода: не более 30 мкг/л
Удаление кремния: не менее 99,9 %
Пиковая производительность системы: не менее 12 л/мин
Средняя производительность системы:  не менее 200 л/сутки

 

 

 

Личный кабинет
+ Создать заявку на измерения