Получение сверхчистой воды реагентного качества
В составе Комплекса оборудования для фотолитографии
Получение сверхчистой воды реагентного качества
Производитель: Millipore, Франция
Год выпуска: 2007
Комната: 213
| Основные параметры: | |
| Удельное сопротивление при 25 ОС: | не менее 18 МОм·см |
| Содержание общего органического углерода: | не более 30 мкг/л |
| Удаление кремния: | не менее 99,9 % |
| Пиковая производительность системы: | не менее 12 л/мин |
| Средняя производительность системы: | не менее 200 л/сутки |