В составе Комплекса оборудования для исследования сегнетоэлектрических материалов
Тестирование полупроводниковых, оптоэлектронных, микро- и нано- электромеханических систем с прецизионным позиционированием зондов и контролем процесса в оптический микроскоп.
Производитель: MPI Corporation (Тайвань)
Год выпуска: 2023
Комната: 220
|
Основные параметры: |
|
|
Диаметр исследуемого образца |
От 4 до 150 мм |
|
Количество манипуляторов на платформе DC |
4 шт |
|
Воспроизводимость перемещения |
1 мкм |
|
Диаметр исследуемого образца |
1 мкм |
|
Количество манипуляторов на платформе DC |
5 мкм |
|
Воспроизводимость перемещения |
4 мкм |