В УЦКП «Современные нанотехнологии» в рамках выполнения гранта Министерства науки и высшего образования Российской Федерации «Реализация мероприятий и выполнение работ по дооснащению Уральского Центра коллективного пользования «Современные нанотехнологии» УрФУ (Проект 075-15-2021-677) приобретена Установка быстрого термического отжига STE RTA-100, АО «НТО» (SemiTEq), Россия.
Установка приобретена для дооснащения комплекса оборудования для термообработки материалов в соответствии с техническим заданием проекта. Она будет использоваться для быстрого отжига образцов и термической активации контактных слоёв в контролируемой инертной среде. В установке реализована возможность программирования «многостадийного» профиля отжига
05 декабря 2022