AJA Orion-8

Напыление многослойных и композитных металлических, диэлектрических и магнитных пленок в едином вакуумном цикле в строго контролируемых условиях.

Производитель:  AJA Int. Inc.
Год выпуска:  2006
Комната:  257

 
Основные параметры:  
Пять независимых магнетронов 2 на постоянном токе 
  3 на токе высокой частоты
Система откачки на базе турбомолекулярного насоса вакуум не хуже 5*10-7мм рт.ст.
Подложкодержатель с приводом вращения температура прогрева до 800 оС
Подложкодержатель, охлаждаемый жидким азотом  
Три независимые линии подачи газов  
Система компьютерного управления процессом  
Организация*: Контактное лицо*: Email*: Телефон*: Заявка на измерение*: Объект исследования*: Ваше сообщение: