Auto 500 Edwards

Напыление тонких пленок металлов, полупроводников и диэлектриков методами электронно-лучевого испарения и магнетронного распыления

 
Производитель: BOC Edw., Великобритания
Год выпуска: 2007
Комната: 222
 
Основные параметры:  
Диаметр подложек до 100 мм
Напыление следующих материалов  
элементов Al, Cu, W, Au, Pt, Cr, Nb, Ta, Ni, Mo, C
соединений TiN, NiCr, Si3N4
оксидов TiO2, Ta2O5, Al2O3, SiO2, In2O3-SnO2

 

Напыление любого проводящего, полупроводникового или диэлектрического материала, из которого можно изготовить мишень для магнетрона
Предварительная очистка пластины плазменным разрядом

 

Организация*: Контактное лицо*: Email*: Телефон*: Заявка на измерение*: Объект исследования*: Ваше сообщение: