Plasmalab 80 plus RIE

Плазменное реактивно-ионное травление металлов, а также кремния и его соединений с реакционными газами 

Производитель: Oxford Instruments, Великобритания 
Год выпуска: 2007
Комната: 222
 
Основные параметры:  
Металлы W, Nb, Ta, Mo
Соединения кремния SiO2, Si3N4
Травление подложек размером до 200 мм
Производительность насоса грубой откачки 95 м3/ч
Высоковакуумный насос турбомолекулярного типа с инертной газовой продувкой
- 5 линий для подачи газов с автоматическим контролем расхода независимо по каждой линии
- реакционные газы O2, Ar, CF4, CHF3, SF6

 

Организация*: Контактное лицо*: Email*: Телефон*: Заявка на измерение*: Объект исследования*: Ваше сообщение: