В составе Комплекса оборудования для нанесения тонких пленок.
Плазменное реактивно-ионное травление металлов, а также кремния и его соединений с реакционными газами
| Основные параметры: | |
| Металлы | W, Nb, Ta, Mo |
| Соединения кремния | SiO2, Si3N4 |
| Травление подложек размером | до 200 мм |
| Производительность насоса грубой откачки | 95 м3/ч |
| Высоковакуумный насос турбомолекулярного типа с инертной газовой продувкой | |
| - 5 линий для подачи газов с автоматическим контролем расхода независимо по каждой линии | |
| - реакционные газы | O2, Ar, CF4, CHF3, SF6 |