Sawatec SM180-HP250HDMS

В составе Комплекса для фотолитографии

Совмещенная установка для нанесения резиста со скоростью вращения центрифуги до 10000 об/мин, сушка и температурная обработка резиста до 350оС с контролем скоростей нагрева и охлаждения. Работа с пластинами диаметрами до 200 мм 

Производитель: Sawatec Solutions, Лихтенштейн
Год выпуска: 2007
Комната: 213

Возможности:

  • Нанесение однородных пленок резиста различной толщины методом центрифугирования
  • Сушка и высокотемпературная обработка нанесенной пленки резиста после проявки
  • Термическая обработка пластин и нанесение праймера для повышения адгезии резиста
  • Раздельное выполнение операций по нанесению резиста и термической обработке
  • Подложки из кремния, GaAs, GaN, LiNbO3 и другие
Максимальный размер:  
кусочки 100 мм
пластины 150 мм
   
Оборудование размещено в чистом помещении класс ГОСТ ИСО 5
 
Организация*: Контактное лицо*: Email*: Телефон*: Заявка на измерение*: Объект исследования*: Ваше сообщение: