Примеры:
В составе Комплекса оборудования электронной микроскопии.
Сканирующий электронный микроскоп для исследования морфологии, химических и структурных свойств материалов с нанометровым пространственным разрешением.
Сфокусированный ионный пучок, рентгеновский микроанализ (EDS), дифракция обратно рассеянных электронов (EBSD), компенсация заряда, электронно-лучевая литография.
| Основные параметры: | |
| Сканирующий электронный микроскоп: | |
| электронная пушка | автоэмиссионный катод Шоттки |
| разрешение | 1.0нм @ 15кВ, 1.9нм @ 1кВ |
| увеличение | 12x – 1 000 000x |
| ускоряющее напряжение | 0.1 – 30кВ |
| Сфокусированный ионный пучок | |
| ионная пушка | автоэмиссионный Ga |
| разрешение | < 2.5нм @ 30 кВ |
| увеличение | 300x – 500 000x |
| ускоряющее напряжение | 1.0 – 30кВ |