Напыление многослойных и композитных металлических, диэлектрических и магнитных пленок в едином вакуумном цикле в строго контролируемых условиях.
Производитель: AJA Int. Inc.
Год выпуска: 2006
Комната: 257
| Основные параметры: | |
| Пять независимых магнетронов | 2 на постоянном токе |
| 3 на токе высокой частоты | |
| Система откачки на базе турбомолекулярного насоса | вакуум не хуже 5*10-7мм рт.ст. |
| Подложкодержатель с приводом вращения | температура прогрева до 800 оС |
| Подложкодержатель, охлаждаемый жидким азотом | |
| Три независимые линии подачи газов | |
| Система компьютерного управления процессом |