В составе Комплекса оборудования для фотолитографии
Чистое производственное помещение класса ГОСТ ИСО 5
Производитель: ГК «РОСТ»
Год выпуска: 2007
Комната: 213
Тип: турбулентно вентилируемое чистое помещение
Размещенное оборудование: | |
Установка жидкостной очистки пластин OPTIwet ST30 | |
Установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 | |
Лабораторная центрифуга Sawatec SM180-HP250HDMS |