В составе Комплекса оборудования для фотолитографии
Чистое производственное помещение класса ГОСТ ИСО 5
Производитель: ГК «РОСТ»
Год выпуска: 2007
Комната: 213
Тип: турбулентно вентилируемое чистое помещение
| Размещенное оборудование: | |
| Установка жидкостной очистки пластин OPTIwet ST30 | |
| Установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 | |
| Лабораторная центрифуга Sawatec SM180-HP250HDMS |